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超精密平面磨削技术要点一

超精密平面磨削技术要点一

一、 超精密平面磨削的技术指标;

精密加工和超精密加工代表了加工精度发展的不同阶段,通常,按加工精度划分,可将机械加工分为一般加工、精密加工、超精密加工个阶段。精密加工是指加工精度为1~0.1μm、表面粗糙度为Ra0.1~0.025μm的加工技术;超精密加工是指加工精度高于0.1μm、表面粗糙度Ra小于0.025μm的加工技术,因此,超精密加工又称之为亚微米级加工。

根椐目前精密平面磨削的现状,超精密平面磨削的技术指标见下表

    超高精度级平面磨床主要技术参数与目前三个精度级的对比      单位mm

  技术指标       精度级别

普通级

精密级

高精度级

超高精度级

工作台面平面度G1

1000:0.01

1000:0.008

1000:0.005

1000:0.001-0.002

试磨件的加工精度P1P2

300:0.005

200:0.002

200:0.0015

200:0.0001-0.0005

试磨件的粗糙度Ra

0.63μm

0.16μm

0.08μm

0.02μm

砂轮最小进给灵敏度

0.005-0.01

0.001-0.002

0.0005-0.001

0.0001

二、 超精密平面磨削的技术要求

根据超精密平面磨削的技术指标,超精密平面磨削机床的技术要求如下:机床的砂轮进给能实现微量进给,机床具有足够的静、动态刚性,机床的热变形及振动的控制有更高要求。归纳主要有以下几点内容:

(1)机床布局型式;(2)新材料运用;(3)主轴精密回转技术;(4)微量进给技术;(5)运动导轨型式;(6)高精度温度控制技术。